Page 1 - Наноэлектромеханический преобразователь с автоэлектронной эмиссией — новый приемник длинноволнового оптического излучения

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012

49

УДК 621.384.3

Ю. К. Г р у з е в и ч , В. А. С о л д а т е н к о в ,

В. М. А ч и л ь д и е в , Н. А. Б е д р о ,

И. В. В о р о н и н , А. Д. С е д о в а

НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ С АВТОЭЛЕКТРОННОЙ

ЭМИССИЕЙ — НОВЫЙ ПРИЕМНИК

ДЛИННОВОЛНОВОГО ОПТИЧЕСКОГО

ИЗЛУЧЕНИЯ

На основе наноэлектромеханического преобразователя с авто-

электронной эмиссией разработан принципиально новый приемник

оптического излучения, чувствительный в длинноволновой обла-

сти спектра. Рассмотрены технические аспекты повышения чув-

ствительности таких приемников и приведены особенности

нанотехнологии их изготовления.

E-mail:

yukg@mail.ru

Ключевые слова:

наноэлектромеханический преобразователь, авто-

электронная эмиссия, приемник оптического излучения, нанотермо-

электромеханический преобразователь

.

Решение ряда важных современных научно-технических проблем

связано с исследованием пространственного распределения полей

электромагнитного излучения: от ближнего инфракрасного (ИК) до

радиоволн. Интерес к данному диапазону в значительной степени

обусловлен созданием интенсивных когерентных источников — те-

рагерцовых и ИК-лазеров, а также их разнообразным применением.

Опыт показал, что дальнейшее освоение длинноволнового (более

20 мкм) оптического спектрального диапазона требует не только со-

вершенствования существующих методов, но и разработки принци-

пиально новых методов регистрации пространственного распределе-

ния оптического излучения, квант которого ниже порога фотоэффек-

та. С этой целью целесообразно рассмотреть возможность теплового

взаимодействия исследуемого длинноволнового оптического излуче-

ния с регистрирующей средой или структурой. Однако известные

приемники, например на соединении Джозефсона (два сверхпровод-

ника, соединенные очень тонким изолирующим оксидным барьером),

обладающие высокой чувствительностью при их охлаждении до тем-

ператур ниже 1 K, не позволяют непосредственно получить про-

странственное распределение плотности электромагнитного поля.

Они могут быть использованы лишь в качестве перемещающегося

зонда или в сочетании со сложной сканирующей аппаратурой. В этом

случае проведение измерений и обработка их результатов являются