ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
55
тельностью 1…100 мс. После электри-
ческого воздействия записывали вольт-
амперные характеристики (ВАХ), а по-
сле удаления входного окна и пластины
ЧЭ проводились исследования области
вискера на лазерном интерферометре
MSA 500. На рис. 5,
а
приведено трех-
мерное изображение поверхности като-
да в области вискера; профиль вискера
после инициализации АЭЭ методом ло-
кального окисления по переменному
току представлен на рис. 5,
б
.
Габаритные размеры вискера при этом составили: высота ~18 нм,
диаметр основания ~20 нм, радиус кривизны вершины ~2 нм.
Как показали исследования, плотность тока эмиссии зависит от
ряда факторов, но при этом уравнение Фаулера—Норгейма позволяет
описать около 95 % случаев АЭЭ.
В соответствии с результатами экспериментальных исследований
ток эмиссии подчиняется эмпирическому закону:
/
э
э э
,
m n
i
K U
где
K
э
— коэффициент эмиссии;
U
э
— напряжение эмиссии;
m
= 1…7;
n
= 1; 2.
Вне зависимости от
U
э
при каждом измерении
i
э
виды эмиссии
различны:
2
э
э э э
; ;
.
i
f U U U
При давлениях газовой среды в диапазоне значений 10
3
…10
5
Па в
отдельных экспериментах при увеличении
U
э
ток эмиссии был по-
стоянным, что свидетельствует об ионизации газовой среды. Для
обеспечения устойчивой работы НТЭМП рабочее давление газовой
Рис. 4. Кристалл НТЭМП в
корпусе QLCC (без входного
окна)
а
б
Рис. 5. Фотография (
а
) и профиль (
б
) вискера
1,2,3,4,5,6 8