Стр. 8 - В.А. Городничев, М.Л. Белов, А.М. Белов, Ю.В. Федотов - Лазерный рефлектометрический метод измерения толщины и характеристик роста нанопленок золота на кварцевой подложке в процессе их напыления
Упрощенная HTML-версия
106
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
рис. 3,
в
), по всему диапазону значений
1
d
,
2
d
— 0,00772 (0,772 %), а
максимальное — 0,0377 (3,77 %) (см. рис. 3,
г
).
Таким образом, согласно результатам математического модели-
рования, лазерный рефлектометрический метод позволяет для пленок
золота на кварцевой подложке определять толщину пленки
0
d
со
среднеквадратической погрешностью, меньшей ~ 0,5 %, а параметры
роста пленки
1
d
и
2
d
— со среднеквадратической погрешностью,
меньшей ~ 8 %, в диапазоне толщин пленок 5…50 нм при погрешно-
стях измерения коэффициента отражения пленки 1 %
.
Работа поддержана грантом РФФИ 11-02-12283-офи-м-2011.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Наноструктурированные метаматериалы. Получение и характеризация /
К.В. Шульга, И.А. Черных, Ю.В. Грищенко, В.В. Роддатис // VII Меж-
дународная научно-техническая конференция INTERMATIC – 2010
(Москва, 23–27 ноября 2010 г.). – Ч. 2. – М.:МИРЭА, – 2010. – С. 11–12.
2. Laser reflectometry in situ measurement of lead zirconate titanate film growth
/ Y. Beaudoin, M. Chaker, T.W. Johnston, H. Pepin // Applied optics. – 1997.
– Vol. 36. – No. 3. – P. 655–657.
3. B a b e v a T., K i t o v a S., K o n s t a n t i n o v I. Photometric methods for de-
termining the optical constants and the thicknesses of thin absorbing films:
criteria for precise and unambiguous determination of n, k, and d in a wide
spectral range // Applied Optics. – 2001. – Vol. 40. – No. 16. – P. 2682–2686.
4. Real time, in situ measurement of film thickness with Reflexion Supported
Pyrometric Interferometry (RSPI) / F.G. Boebel, B. Hertel, H. Moeller,
W. Preiss // IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Confer-
ence. – 1994. – P.311–314.
5. F a r r e l l T., A r m s t r o n g J. V., K i g h t l e y P. Dynamic optical reflectivity
to monitor the real-time metalorganic molecular beam epitaxial growth of
AlGaAs AlGaAs layers // Appl. Phys. Lett. – 1991. – Vol. 59. – No. 10. –
P. 1203–1205.
6. R a b a d i R., Z i n o v i e v K., A v r u r s k y I. High-resolution photometric
optical monitoring for thin-film deposition // Applied Optics. – 2004. –
Vol. 43. – No. 1. – P. 143–148.
7. Лазерный рефлектометрический метод измерения толщины нанопленок
золота на кварцевой подложке / В.А. Городничев, М.Л. Белов, А.М. Бе-
лов, С.В. Березин, Ю.В. Федотов // Наука и образование. МГТУ
им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. – 2012. – № 3. Режим доступа:
(дата обращения 20.06.2012).
8. Б р е х о в с к и х Л. М. Волны в слоистых средах. – М.: Наука, 1973. –
342 с.
