ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
105
(методом перебора непосредственно из измерений коэффициента от-
ражения
(
)
,
R d
λ
в момент времени
0
t
) составляет ~ 0,00315
(0,315 %), а максимальная по этому же диапазону среднеквадратиче-
ская погрешность равна ~ 0,00533 (0,533 %).
На рис. 3 представлены относительные среднеквадратические (по
500 реализациям) погрешности
1
δ
(в относительных единицах) опре-
деления параметра роста пленки
1
d
(рис. 3,
а
,
б
) и погрешности
2
δ
определения параметра роста пленки
2
d
(рис. 3,
в
,
г
).
Рис. 3. Зависимость среднеквадратической погрешности
δ
1 от
d
0
и
d
1
(
а
),
d
1
и
d
2
(
б
) и погрешности
δ
2 от
d
0
и
d
1
(
в
) и
d
1
и
d
2
(
г
)
Параметры роста пленки
1
d
,
2
d
определялись из решения урав-
нения (9) при использовании метода Нелдера — Мида (метод пере-
бора дает близкие значения среднеквадратических погрешностей, но
требует горазда большего времени счета) для
2
d
= 0,25 нм/с
2
(см.
рис. 3,
а
,
в
) и
0
d
= 30 нм (см. рис. 3,
б
,
г
).
Среднее значение
1
δ
по всему диапазону значений
0
d
,
1
d
со-
ставляет 0,00829 (0,829 %) , а максимальное — 0,0791 (7,91 %) (см.
рис. 3,
а
), по всему диапазону значений
1
d
,
2
d
— 0,00663 (0,663 %), а
максимальное — 0,0518 (5,18 %) (см. рис. 3,
б
).
Среднее значение
2
δ
по всему диапазону значений
0
d
,
1
d
со-
ставляет 0,0093 (0,93 %), а максимальное — 0,0818 (8,18 %) (см.
1,2,3,4,5,6 8,9