Оптическая система двухдиапазонного интерферометра для контроля формы…
1
УДК 531.715.1
Оптическая система двухдиапазонного интерферометра
для контроля формы выпуклых сферических
поверхностей диаметром до 600 мм
© Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев, О.В. Рожков
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Предложена принципиально новая оптическая система двухдиапазонного интер-
ферометра для бесконтактного контроля формы выпуклых сферических поверх-
ностей диаметром до 600 мм. В качестве объектива, формирующего сферический
рабочий волновой фронт, используется крупногабаритная линза, одна из поверхно-
стей которой асферическая. Для расширения диапазона контролируемых поверх-
ностей эта линза поворачивается вокруг вертикальной оси; при этом вносимая
линзой волновая аберрация не превышает 0,005 длины волны He-Ne-лазера. Эта-
лонный сферический волновой фронт формируется лучами, отраженными от вы-
пуклой поверхности менисковой линзы, которая совместно куб-призмой образует
оптическую систему, полностью исправленную на сферическую аберрацию.
Ключевые слова
: интерферометр, контроль, форма оптической поверхности,
выпуклая сферическая поверхность.
Одна из актуальных проблем оптического приборостроения за-
ключается в разработке новой аппаратуры для контроля формы вы-
пуклых поверхностей крупногабаритных оптических деталей.
В частности, контроль формы выпуклых сферических поверхностей
объективов, состоящих из линз диаметром до 600 мм, до сих пор
выполняют по частям контактным методом переналожений малого
пробного стекла [1]. Допустимые местные, зональные и астигмати-
ческие погрешности форм поверхностей крупногабаритных линз
составляют величины порядка 0,1…0,3 интерференционной полосы.
Поэтому аттестацию формы таких поверхностей следует проводить
за один прием.
Бесконтактный контроль формы выпуклых сфер диаметром до
600 мм за один прием может обеспечить двухдиапазонный интерфе-
рометр ДВИН-600, оптическая система которого описана в работе
[2]. Однако его применение затруднено ввиду громоздкой централь-
ной линзовой системы, являющейся ключевым элементом этого
устройства. Поскольку общая масса четырех линз данной системы
интерферометра ДВИН-600 составляет 350 кг, она подвержена зна-
чительным весовым деформациям. Эталонные поверхности интерфе-
рометра ДВИН-600 принадлежат двум крайним линзам центральной
