Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев, О.В.Рожков
2
линзовой системы, поэтому их форма также искажается. В результате
эталонный волновой фронт теряет осевую симметрию, что может
быть истолковано как несимметричное искажение формы контроли-
руемой поверхности.
Цель настоящей работы состоит в разработке новой оптической
системы интерферометра для бесконтактного контроля формы вы-
пуклых сферических поверхностей линз диаметром до 600 мм с ши-
роким диапазоном значений радиусов кривизны.
Анализ достоинств и недостатков интерферометра ДВИН-600
позволил сформулировать основные требования к оптической систе-
ме нового двухдиапазонного интерферометра:
1) центральная линзовая система при диаметре не менее 600 мм
должна быть однолинзовой и обеспечивать формирование строго го-
моцентрического пучка лучей как в прямом, так и в обратном ходе
лучей;
2) в целях расширения диапазона типоразмеров контролируемых
поверхностей вершины гомоцентрических пучков лучей (входящего
в центральную однолинзовую систему и выходящего из нее) должны
быть удалены от ее первой и последней поверхностей на различные
расстояния;
3) между контролируемой и эталонной поверхностями интерфе-
рометра должно располагаться минимально возможное количество
оптических элементов, которые могут повлиять на форму волнового
фронта, сформированного центральной однолинзовой системой;
4) рабочий волновой фронт, сформированный центральной одно-
линзовой системой, перед началом работы на интерферометре дол-
жен пройти надежную аттестацию.
Предлагаемая авторами данной работы новая оптическая система
двухдиапазонного интерферометра (рис. 1) отвечает сформулирован-
ным выше требованиям.
Рассмотрим принцип работы интерферометра. Монохроматиче-
ский световой пучок, выходящий из He-Ne
-
лазера
1
(длина волны
λ
=
= 0,6328 мкм), фокусируется объективом
2
в плоскость точечной диа-
фрагмы
3
(точка
А
— точечный источник интерферометра). Далее све-
товой пучок проходит через куб-призму
4
и отрицательную мениско-
вую линзу
5
, конструкция которой такова, что ее вогнутая поверхность
компенсирует сферическую аберрацию, вносимую куб-призмой. На
выпуклую поверхность этой линзы падает гомоцентрический пучок,
вершина которого совмещена с центром
С
Э
кривизны этой поверхно-
сти. Отраженные от выпуклой поверхности линзы лучи формируют
эталонный сферический волновой фронт. Таким образом, выпуклая
поверхность линзы выполняет роль эталонной Э поверхности в интер-
ферометре. Лучи, прошедшие через линзу, образуют сферический
