Оптическая система двухдиапазонного интерферометра для контроля формы…
3
волновой фронт, который направляется к центральной однолинзовой
системе
6
, предназначенной для формирования рабочего сферического
волнового фронта. Поэтому данная система полностью исправлена на
сферическую аберрацию. В результате в сторону контролируемой К
поверхности детали
7
направляется сходящийся строго гомоцентриче-
ский пучок лучей. Контролируемая поверхность детали
7
установлена
таким образом, что ее центр (точка
С
К
) кривизны совмещен с верши-
ной гомоцентрического светового пучка, сформированного централь-
ной однолинзовой системой. В таком случае лучи, отраженные от по-
верхности К, повторяют свой путь в обратном направлении.
На рис. 1,
а
и
б
показаны различные варианты расположения кон-
тролируемой детали относительно центральной однолинзовой систе-
мы, которая может поворачиваться вокруг вертикальной оси на 180
°
.
На рис. 1,
а
центральная однолинзовая система установлена таким
образом, что ее предметный отрезок (
−
s
1
) короткий, а расстояние до
вершины выходящего пучка лучей (
s
′
1
) длинное. В таком случае кон-
тролируемые детали могут располагаться в позициях
7
или
7
′
(см.
рис. 1,
а
). Если центральная однолинзовая система повернута на 180
°
(см. рис. 1,
б
), то предметный отрезок (
−
s
2
) центральной однолинзо-
вой системы длинный, а расстояние до вершины выходящего пучка
лучей (
s
′
2
) короткое. Тогда контролируемая деталь будет располагать-
ся в позиции
7
′′
.
Рис. 1.
Оптическая схема интерферометра
