6
П.С. Захаров, В.С. Зайончковский, Е.Б. Баскаков
[7] Simmons J.G. Poole-Frenkel effect and Schottky effect in metal-insulator-metal
systems.
Phys. Rev
, 1967, N 155(3), pp. 657–660.
[8] Красников Г.Я., Зайцев Н.А.
Система кремний — диоксид кремния в
субмикронных СБИС
. Москва, Техносфера, 2003, 384 с.
Статья поступила в редакцию 16.07.2013.
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Захаров П.С., Зайончковский В.С., Баскаков В.С. Свойства проводящего канала
в тонких пленках субоксида кремния.
Инженерный журнал: наука и инновации
, 2013,
вып. 6. URL:
Захаров Павел Сергеевич
окончил КФ МГТУ им. Н.Э. Баумана в 2013 г. по
специальности «Микроэлектроника и твердотельная электроника», аспирант
КФ МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область научных интересов: магнетронное распыление
материалов, переключение проводимости в тонких пленках оксида кремния. е-mail:
Зайончковский Вячеслав Станиславович
окончил Харьковский авиационный
институт в 1972 г. Канд. физ.-мат. наук, доцент кафедры «Материаловедение» КФ
МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область научных интересов: технология изготовления ин-
тегральных схем, физика твердого тела. е-mail:
Баскаков Евгений Борисович
— студент МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область на-
учных интересов: вакуумное напыление магнитных и углеродных покрытий. е-mail:
