5 / 10
Особенности формирования и свойства тонких пленок и массивов частиц золота
…
Инженерный журнал: наука и инновации
# 8·2017 5
Были проведены две серии эксперимента, разнесенные по времени:
для пленок толщиной до 100 нм и от 100 до 180 нм. В результате обра-
ботки результатов были построены кривые зависимости высоты релье-
фа, шероховатости поверхности и кривизны профиля сферы от толщи-
ны нанесенной пленки, измеренной на образце-свидетеле (рис. 6).
Исследование высоты рельефа
р
H
, проведенное на четко опреде-
ляемых профилях, выявило неоднородность характера изменения ре-
льефа образца по мере нарастания пленки на поверхности сфер. Вы-
сота рельефа медленно нарастает, пока не достигнет толщины поряд-
ка 80…100 нм, затем начинает уменьшаться. При толщине от 200 нм
рельеф пленок золота, нанесенных на опаловый подслой, не отлича-
ется от рельефа пленок, нанесенных непосредственно на стеклянную
подложку.
Рис. 6.
Результаты исследований
зависимости высоты рельефа
(
а
),
шероховатости поверхности
(
б
)
и кривизны профиля сферы (
в
) от
толщины пленки золота
.
Серии экспериментов:
— № 1 (толщина пленки золота
менее 100 нм);
— № 2 (толщина
пленки золота более 100 нм)