4 / 10
Е.В. Панфилова, А.А. Доброносова
4
Инженерный журнал: наука и инновации
# 8·2017
дого из образцов. Средняя высота рельефа
р
H
определена как усред-
ненное по наиболее четко определяемому на анализируемом скане
профилю расстояние между выступами и впадинами (рис. 4). Кри-
визна профиля сферы охарактеризована коэффициентом
.
a
Для
определения среднего значения указанного коэффициента была про-
ведена аппроксимация профиля пяти произвольно выбранных сфер
каждого образца кривыми третьего порядка
3
2
ax bx cx
. На рис. 5
представлен профиль одной сферы и кривая аппроксимации профиля.
Значения шероховатости
Ra
(среднее арифметическое отклонение
профиля по образцу) определено по всей поверхности скана сред-
ствами программы обработки изображений АСМ.
Рис. 4.
Профиль рельефа образца до вычитания наклона пленки золота
толщиной 108 нм
Рис. 5.
Профиль опала с пленкой золота тол-
щиной 108 нм (
1
) и кривая аппроксимации
уравнением третьего порядка (
2
). По горизон-
тальной оси отложена ширина сферы в области
сечения, нм, по вертикальной — высота сферы
в области сечения, нм