И.С. Кутовой, И.Н. Радченко
4
Таблица 1
Состав загрузки для роста слитка мультикристаллического кремния
№
Тип
проводимости
Масса, кг
Концентрация
носителей заряда, ат/см
3
1
p
80
15
3,45 10
2
p
60
16
3,22 10
3
p
30
16
1,84 10
4
n
80
14
1,4 10
5
n
20
14
4,37 10
6
n
15
15
1,13 10
Для данного состава загрузки масса лигатуры
лиг
23, 09 г.
M
Погрешность взвешивания лигатуры, определяемая погрешностью
прецизионных лабораторных весов,
лит
5
3 10 кг.
M
Погрешность
взвешивания частей загрузки
p
- и
n
-типа, определяемая погрешно-
стью весов с большей ценой деления, составила
0,02 кг.
n
p
M M
Концентрацию носителей заряда рассчитывали в соответствии с ме-
тодикой [1] по известным значениям
. Учитывая, что погрешность
прибора для измерения удельного электросопротивления не превы-
шала 5 %, а перевод значения
в концентрацию по ASTM F723 давал
среднюю ошибку 2,5 %, общая суммарная погрешность составила
лит
0, 075.
p
n
C C C
С учетом приведенных приборных погрешностей взвешивания и
определения концентрации носителей заряда был рассчитан вклад
каждого из параметров в общую погрешность определения целевой кон-
центрации. Результаты расчета по формулам (4)–(7) представлены в
табл. 2.
Таблица 2
Вклад параметров
лиг лиг
,
,
,
,
,
i
i
j
j
p p
n n
M C M C M С
в погрешность определения концентрации
цел
C
Параметр
Погрешность
Обозначение
Значение, ат/см
3
лиг
M
1
11
7,166 10
лиг
C
2
13
4,137 10
i
p
M
3
12
9,103 10
j
n
M
4
11
1,437 10
i
p
C
5
15
1,743 10
j
n
C
6
13
1,165 10
