Погрешность определения состава загрузки для роста слитков мультикристаллического кремния
Опубликовано: 08.10.2014
Авторы: Кутовой И.С., Радченко И.Н.
Опубликовано в выпуске: #6(30)/2014
DOI: 10.18698/2308-6033-2014-6-1262
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Материаловедение