Погрешность определения состава загрузки для роста слитков мультикристаллического кремния
Опубликовано: 08.10.2014
Авторы: Кутовой И.С., Радченко И.Н.
Опубликовано в выпуске: #6(30)/2014
DOI: 10.18698/2308-6033-2014-6-1262
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Материаловедение
Описана методика и приведены результаты расчета погрешности определения целевой концентрации носителей заряда. Определены основные параметры, которые влияют на погрешность измерения удельного электрического сопротивления на слитке, полученном при использовании описанной в статье загрузки для его роста.
Литература
[1] Нашельский А.Я. Производство полупроводниковых материалов. Москва, Металлургия, 2003