Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский
Статья

Погрешность определения состава загрузки для роста слитков мультикристаллического кремния

Опубликовано: 08.10.2014

Авторы: Кутовой И.С., Радченко И.Н.

Опубликовано в выпуске: #6(30)/2014

DOI: 10.18698/2308-6033-2014-6-1262

Раздел: Машиностроение | Рубрика: Материаловедение

Описана методика и приведены результаты расчета погрешности определения целевой концентрации носителей заряда. Определены основные параметры, которые влияют на погрешность измерения удельного электрического сопротивления на слитке, полученном при использовании описанной в статье загрузки для его роста.


Литература
[1] Нашельский А.Я. Производство полупроводниковых материалов. Москва, Металлургия, 2003