Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины маятникового акселерометра
Опубликовано: 15.10.2013
Авторы: Сагателян Г.Р., Новосёлов К.Л., Шишлов А.В., Щукин С.А.
Опубликовано в выпуске: #6(18)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-6-805
Раздел: Наноинженерия