Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины маятникового акселерометра
Опубликовано: 15.10.2013
Авторы: Сагателян Г.Р., Новосёлов К.Л., Шишлов А.В., Щукин С.А.
Опубликовано в выпуске: #6(18)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-6-805
Раздел: Наноинженерия
Рассмотрены вопросы нанотехнологического обеспечения показателей качества пластин маятниковых акселерометров. Обосновано применение двухсторонней доводки связанным абразивом для обеспечения требуемой плоско-параллельности пластин. Показана возможность формирования выступов и впадин, предусмотренных конструкцией пластины, методом плазмохимического травления. Предложена методика обеспечения равномерной толщины тонкопленочных покрытий, применяемых в качестве маски при плазмохимическом травлении.
Литература
[1] Гибридные микроэлектромеханические гироскопы и акселерометры. Наука и образование: электронное научно-техническое издание, 2011, № 10. URL: http://technomag.edu.ru/doc/21957.html
[2] Мостяев В.А., Дюжиков В.И. Технология пьезо- и акустоэлектронных устройств. Москва, Изд-во "Ягуар", 1993, с. 83-99
[3] Кондратенко В.С. Состав для алмазного инструмента. Патент № 2169658 Российская Федерация
[4] Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва, Изд-во "Техносфера", 2010, с. 457-488
[5] Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р. Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. "Приборостроение", 2010, № 2, с. 92-104