Перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности ионно-лучевым методом
Опубликовано: 15.10.2013
Авторы: Одинокова Е.В., Панфилов Ю.В., Юрченко П.И.
Опубликовано в выпуске: #6(18)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-6-801
Раздел: Наноинженерия