Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский
Авторы
Панфилов Ю.В.

Панфилов Ю.В.

Mail:

МГТУ им. Н.Э. Баумана
Москва, Россия

Панфилов Юрий Васильевич - д-р техн. наук, профессор, заведующий кафедрой "Электронные технологии в машиностроении" МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сфера научных интересов: вакуумное технологическое оборудование, нанотехнологии.

Все статьи автора