Н.В. Барышников, Д.Г. Денисов, И.В. Животовский, В.Я. Менделеев
8
В качестве высокоточной линейной каретки использовалась ка-
ретка Melles Griot с погрешность перемещения 0,005 мм. Проекцион-
ный объектив имеет фокусное расстояние
f
′ =25 мм. Черно-белая те-
левизионная ПЗС-камера высокого разрешения VSC-756-USB фирмы
«ЭВС» с размерами элемента 0,0086
×
0,0083 мм имеет разрешение
582
×
752 элементов.
Угол ориентации
β
канавок профиля шероховатости задавали
равным 0, 45 и 90°. Угол
β
= 0 соответствовал вертикальной ориента-
ции однонаправленного профиля канавок шероховатой поверхности.
Угловой наклон образца шероховатой поверхности в вертикальной
плоскости задавался последовательностью углов наклона γ
i
: 0, 5, 10 и
15°. Линейное смещение
Δ
у
образца вдоль оптической оси пучка
Рис. 6.
Ошибки измерения смещения при горизонтальной ориентации про-
филя канавок шероховатой поверхности (
β
= 0) и различных углах наклона
образца в вертикальной плоскости:
а
—
γ
= 0,
б
—
γ
= 10
°
,
в
—
γ
= 15
°
;
1
–
4
—
Δ
S
равно 5, 10, 15 и 20 мм соответ-
ственно
