Н.В. Барышников, Д.Г. Денисов, И.В. Животовский, В.Я. Менделеев
6
относительно плоскости падения освещающего пучка и в зависимо-
сти от величины истинного смещения
Δ
y
ист
образца для разных углов
триангуляции
α
(см. рис. 1 и 2).
Внешний вид экспериментального стенда приведен на рис. 5. Из-
лучение лазерного источника
1
фокусируется формирующей оптиче-
ской системой
2
на номинальном расстоянии 160 мм на поверхности
Рис. 5.
Внешний вид экспериментального стенда:
1
— источник излучения — Не–Ne-лазер;
2
— формирующая оптическая система;
3
— образец поверхности с направленной шероховатостью;
4
— ротатор для ими-
тации различных углов наклона профиля
β
направленной шероховатости;
5
— уг-
ловая каретка для имитации углов наклона образца
γ
;
6
— каретка для высокоточ-
ного линейного перемещения
Δ
у
образца;
7
— набор нейтральных светофильтров;
8
— ПЗС-камера с проекционным объективом;
9
— ноутбук
