7
Перспективы получения нанометровойшероховатости поверхности ионно-лучевымметодом
сеяние поверхности (в данном случае это характеристика шероховато-
сти) как уменьшается, так и увеличивается. Причем, это относится и к
количеству максимальных пиков («выступы»), и к среднестатистиче-
ской оценке шероховатости поверхности («остаточный рельеф»), что
свидетельствует о необходимости проведения отдельных исследований
влияния энергии ионного пучка и времени его воздействия на параме-
тры шероховатости обрабатываемой поверхности.
ЛИТЕРАТУРА
[1]
Машиностроение. Энциклопедия в сорока томах. Т. III-8: Технологии, обо-
рудование и системы управления в электронном машиностроении.
Панфи-
лов Ю.В., ред. Москва, Машиностроение , 2000, 744 с.
[2] Бериш Р.
Распыление твердых тел ионной бомбардировкой
. Москва, Мир,
1984, 336 с.
[3] Броудай И., Мерей Дж.
Физические основы микротехнологии
. Москва, Мир,
1985, 496 с.
Статья поступила в редакцию 16.07.2013
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Одинокова Е.В., Панфилов Ю.В., Юрченко П.И. Перспективы получения нано-
метровой шероховатости поверхности ионно-лучевым методом.
Инженерный жур-
нал: наука и инновации
, 2013, вып. 6. URL:
.
html
Одинокова Екатерина Вадимовна
— студентка 4-го курса кафедры «Электрон-
ные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Панфилов Юрий Васильевич
— д-р техн. наук, профессор, заведующий кафе-
дрой «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сфера
научных интересов: вакуумное технологическое оборудование, нанотехнологии.
е-mail:
Юрченко Павел Игоревич
— аспирант кафедры «Электронные технологии в
машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Рис. 6.
Результаты исследования шероховатости поверхности (количество
максимальных пиков) ситалловой подложки до обработки и после воздей-
ствия на нее ионов аргона, падающих под углом 15° (
а
), и пучка смеси ионов
аргона и кислорода в соотношении 70/30, падающих под углом 45°
(
б
), при
длительности обработки от 2 до 20 мин
а б
