4
Е.В. Одинокова, Ю.В. Панфилов, П.И. Юрченко
падения иона 20°, отложенным от вертикали (табл. 1). Из геометриче-
ских моделей видно, что при изменении угла
от 180 до 95° угол па-
дения иона
на наклонную боковую грань пирамиды изменяется в
небольшом интервале — от 20 до 5°, что дает незначительное для вли-
яния на скорость ионного распыления изменение коэффициента рас-
пыления
Y
p
от 1,082 до 1,004 атом/ион.
Таблица 1
Геометрические модели ионного распыления
микронеровности в виде пирамиды
Исходные данные и результат
расчета
Геометрическая модель
= 180°;
= 20°;
Y
p
(20°) = 1/cos(20°) = 1,06412
= 170°;
= 15°;
Y
p
(15°) = 1/cos(15°) = 1,0353
= 150°;
= 5°;
Y
p
(5°) = 1/cos(5°) = 1,003820
