Стр. 2 - Аналитические методы статики упругих подвесов микромеханических приборов

ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013 2
простота и ограниченный набор форм отдельных упругих элементов
подвеса, а также принципиальная планарность упругого подвеса.
В данной работе представлены некоторые результаты разработки
аналитической модели упругого подвеса микромеханического при-
бора. На рис. 1, 2 показаны варианты подвесов микромеханических
приборов и их отдельные упругие элементы.
Рис. 1. Варианты упругих подвесов микромеханических чувствитель-
ных элементов
Рис. 2. Упругий элемент подвеса
x
P'
y
P'
z
P'
y
M'
x
M'
z
M'
z
x
y