5 / 9
Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52…
5
Практическая часть.
Проведен ряд экспериментов по запуску
магнетрона с различными вариациями условий запуска. Результаты
экспериментов приведены в табл. 3.
Таблица 3
Результаты серии экспериментов
Условия запуска магнетрона
Параметр
Результат
Тигель установлен через диэлектри-
ческие прокладки, загружена медная
мишень толщиной 0.5 мм. Экран от-
сутствует. Источник ионов (ИИ) вы-
ключен
P
= 0,78 Па,
U
= 650 В,
Газ Ar = 1 200 мВ
Легко зажегся, через
3…5 с стал ярко гореть.
На режим не выходит
Конфигурация та же, ИИ включен
P
= 0,8 Па,
U
= 650 В,
Газ Ar = 1 300 мВ
Зажегся. После выклю-
чения ИИ продолжил
гореть. Горел до пони-
жения напряжения до
450 В, после чего потух
(рис. 7,
а
)
Конфигурация та же, ИИ включен.
Мишень Cu, толщиной 2,75 мм
P
= 0,89 Па,
U
= 650 В,
Газ Ar = 1 300 мВ
Зажегся. После выклю-
чения ИИ продолжил
гореть. Горел до пони-
жения напряжения до
500 В
Тигель установлен через диэлек-
трические прокладки. Мишень Сu,
толщиной 0,5 мм. Экран отсут-
ствует, ИИ выключен
P
= 0,92 Па,
U
= 650 V
Газ Ar = 1 450 мВ
Зажегся, практически
вышел на режим, рас-
плавил часть мишени
(рис. 7,
б
)
Тигель установлен через ситалло-
вые прокладки, толщиной 0,3 мм.
Экран отсутствует. Мишень Сu,
толщиной 3,75 мм, ИИ выключен
I
= 0,16 А,
Р
= 1 Па,
Газ = 1 499 мВ
Разряд легко зажегся.
Работа стабильная. Ми-
шень постепенно раска-
лялась. В жидкую фазу
не перешла (рис. 8)
Полная конфигурация. Диэлектри-
ческие прокладки, экран. Мишень
Сu, толщиной 3,75 мм
Параметры
раз-
личные
Не зажегся
а
б
Рис. 7.
Горение плазмы при толщине мишени 0,5 мм (
а
) и расплавленная мишень
толщиной 0,5 мм (
б
)