2 / 9
М.В. Макарова, М.А. Мартыненко, А.С. Бабурин, К.М. Моисеев
2
Рис. 1.
Жидкофазный магнетрон НМСА-52:
1
— тигель;
2
— место под мишень;
3
— диэлектрические прокладки;
4
— изолятор;
5
— магниты;
6
— магнитовод
Сравнительный анализ систем НМСА-50 и НМСА-52.
Со-
гласно схеме, представленной на рис. 2, было измерено магнитное
поле системы НМСА-52 с помощью миллитесламетра, который из-
меряет только тангенциальную составляющую магнитной индукции
магнитного поля (рис. 3).
Рис. 2.
Схема измерения
магнитного поля
Рис. 3.
Схема установки чувствительного
зонда микротесламетра
Данные для сравнительного анализа систем максимальной высо-
ты приведены в табл. 1. Все расчетные значения
t
меньше критическо-
го. Согласно критерию Стьюдента, который используется для сравне-
ния средних значений, следует, что магнитные поля обеих систем на
высоте
h
= 7,75 мм сопоставимы или одинаковы с уровнем значи-
мости 0,01.
Таким образом, магнитное поле магнитной системы не изменилось.