Разработка методики комбинированной интерферометрии…
7
для первой, второй и третьей гармоник соответственно:
F
1, 800
=
= 42,5 Дж/см
2
,
I
1, 800
= 9,4
10
14
Вт/см
2
;
F
2, 400
= 15 Дж/см
2
,
I
2, 400
=
= 2,5·10
14
Вт/см
2
;
F
3, 266
= 1,5 Дж/см
2
,
I
3, 266
= 2,1
10
13
Вт/см
2
.
Система регистрации и обработки данных состоит из ПЗС-камер
(НПК «Видеоскан»), компактного спектрометра (S-150, Solar LS),
оборудования контроля параметров лазерного излучения и персо-
нального компьютера с программным обеспечением для обработки
спектрограмм.
Система обеспечения заданных газовакуумных условий состоит
из вакуумной камеры (диаметр 400 мм, высота 300 мм), откачивае-
мой безмасляным вакуумным агрегатом (TSH 071, Pfeiffer vacuum) до
5
10
–5
мбар, системы контроля остаточного давления и клапана газо-
вого напуска (рис. 4).
Рис. 4.
Часть оптической схемы экспериментально-диагностического
комплекса, собранная внутри вакуумной камеры
В схеме интерференционной микроскопии с временн
û
м разреше-
нием применен интерферометр Майкельсона
11
(см. рис. 2) — с перено-
сом изображения поверхности исследуемого образца на плоскость ПЗС-
матрицы
9
[2]. Лазерный импульс с помощью светоделительной пла-
стины разделяется на нагревающий и зондирующий. Для возбуждения
образца используется
P
-поляризованный лазерный импульс, падающий
на образец под углом 45°. Для изменения плотности энергии на образце
в схеме имеется ослабитель, состоящий из поляризатора и полуволно-
вой пластины λ/2. Контроль энергии в каждом импульсе осуществляет-
ся с помощью калиброванного фотоэлектронного умножителя
10
(ФЭУ)
