Некоторые аспекты применения ультрафиолетового лазерного излучения в технологиях микроэлектроники
Опубликовано: 06.11.2012
Авторы: Голубенко Ю.В., Богданов А.В.
Опубликовано в выпуске: #6(6)/2012
DOI: 10.18698/2308-6033-2012-6-238
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Лазерные технологии