Сильнополевая инжекционная модификация наноразмерных диэлектрических пленок в МДП-приборах
Опубликовано: 15.10.2013
Авторы: Андреев В.В., Столяров А.А., Ахмелкин Д.М., Романов А.В.
Опубликовано в выпуске: #6(18)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-6-802
Раздел: Наноинженерия