Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом плазмохимического травления для формирования точечных эталонных изображений
Опубликовано: 11.11.2013
Авторы: Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р., Соломашенко А.Б., Дроздова Е.А.
Опубликовано в выпуске: #9(21)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-9-922
Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника