Исследование границы металлизации микроэлектронных структур с помощью конфокальной микроскопии
Опубликовано: 15.10.2013
Авторы: Захаров П.С., Зайончковский В.С., Баскаков Е.Б.
Опубликовано в выпуске: #6(18)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-6-808
Раздел: Наноинженерия