Метод измерения распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического видеоспектрометра
Опубликовано: 11.11.2013
Авторы: Перчик А.В., Толстогузов В.Л., Стасенко К.В., Цепулин В.Г.
Опубликовано в выпуске: #9(21)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-9-915
Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника
Описан принцип работы акустооптического спектрометра изображений и методика определения с его помощью распределения толщины тонких пленочных покрытий.
Литература
[1] Пустовойт В.И., Пожар В.Э. Акустооптические спектральные устройства: состояние и перспективы. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение, 2011, № S2, с. 6-15
[2] Балакший В.И., Парыгин В.И., Чирков Л.И. Физические основы акустооптики. Москва, Радио и связь, 1985, 280 с.
[3] Мазур М.М., Пожар В.Э., Пустовойт В.И., Шорин В.Н.. Двойные акустооптические монохроматоры. Успехи современной радиоэлектроники, 2006, № 10, с. 19-30
[4] Борн М., Вольф Э. Основы оптики. Москва, Наука, 1973, 720 с.