Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ с нормальным и брюстеровским отражениями света
Опубликовано: 19.10.2013
Авторы: Али Мохаммед , Качурин Ю.Ю., Кирьянов А.П.
Опубликовано в выпуске: #7(19)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-7-836
Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника
Рассмотрена холоэллипсометрия in situ с использованием лазерного интерференционного холоэллипсометра с бинарной модуляцией поляризации и нормальным и брюстеровским отражениями поляризованного света от одноосного двумерного кристалла, размещенного в плече интерферометра Майкельсона, который служит технической основой устройства.
Литература
[1] Langereis E., Heil S.B.S., Knoops H.C.M., Kerning W., van de Sandem M.C.M., Kessels W.M.M. In situ spectroscopic ellipsometry as a versatile tool for studying atomic layer deposition. J. Phys. D: Appl. Phys., 2009, vol. 42, 073001
[2] Конотопов М.В., Тебекин А.В. Концепция стратегии развития производственных технологий. Инновации и инвестиции, 2007, № 1 (9), с. 2-15
[3] Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. Москва, Мир, 1981, 584 с.
[4] Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ: основы и применения. Москва, МГУДТ, 2003, 220 с.
[5] Харкевич А.А. Спектры и анализ. Москва, ГИТЛ, 1975