Оптическая система интерферометра для измерения и контроля формы выпуклых сферических поверхностей большого диаметра
Опубликовано: 05.03.2013
Авторы: Пуряев Д.Т., Лазарева Н.Л., Дуденкова Е.А.
Опубликовано в выпуске: #1(13)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-1-519
Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника
Предложена принципиально новая оптическая система лазерного интерферометра для бесконтактного контроля формы крупногабаритных выпуклых сферических поверхностей без снятия с планшайбы станка. Рабочий волновой фронт формируется объективом, состоящим из стационарного сферического зеркала диаметром 1200 мм и четырех сменных эталон-компенсаторов, диаметры которых составляют менее 120 мм. Волновая аберрация объектива при автоколлимационном ходе лучей не превышает 0,07 длины волны He-Ne лазера.
Литература
[1] Справочник технолога-оптика / М.А. Окатов, Э.А. Антонов, А.В. Байгожин и др.; Под ред. М.А. Окатова. СПб.: Политехника, 2004. 679 с.
[2] Пуряев Д.Т., Лазарева Н.Л., Иконина А.В. Оптические системы двухлучевых интерферометров. Ч. 2 / Под ред. Д.Т. Пуряева. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э Баумана, 2005. 27 с.
[3] Dudenkova K. A. New Objective for Laser Interferometer // Proc IONS-8. Moscow, 2010. P. 25—26