Синтез наноструктурированных композиционных керамополимерных…
5
чество в щелях, порах, трещинах, а также вблизи острых краев и
кромок, в отверстиях и других труднодоступных местах.
Наполнение осуществляется по следующему алгоритму: создание
вакуума в замкнутой системе сублиматор — пиролизатор — камера
осаждения; возгонка димера (ди-
n
-ксилилена или его замещенных) при
температуре 100…150 °С; пиролиз паров димера при температуре
650…680 °С; осаждение (адсорбция) реакционного мономера
n
-
ксилилена на подложках (изделиях) с последующей полимеризацией и
кристаллизацией покрытия.
Толщину модифицированного слоя измеряли с помощью вихре-
токового толщиномера ВТ-201, который предназначен для быстрого,
точного и неразрушающего контроля толщины неметаллических по-
крытий, нанесенных на металлическое немагнитное основание (алю-
миний, медь, титан). Для определения пористости оксидных компо-
зитных слоев использовали методику, разработанную на кафедре
ТОМПВЭ МАТИ и подробно описанную в работе [4].
Полученные результаты приведены в графическом виде на рис. 3
и 4. Как видно на рис. 3, толщина МДО-слоев после их наполнения
полимером увеличилась в среднем на 15 мкм. На рис. 4 представлены
графические зависимости изменения сквозной пористости поверх-
ностного слоя от его толщины. Из приведенных графиков видно, что
пористость «ненаполненных» образцов незначительно растет с уве-
Рис. 3.
Зависимость толщины керамикоподобного покрытия от продолжи-
тельности процесса МДО
