Н.Н. Андрианова, А.М. Борисов, Р.В. Желтухин, А.В. Косогоров, Б.Л. Крит и др.
4
ности субстратов различной приро-
ды. Основой газофазной депозитной
полимеризации является генериро-
вание при вакуумном пиролизе цик-
ло-ди-параксилилена (2,2-парацик-
лофана) высокореакционно-способ-
ных частиц — интермедиатов (па-
раксилиленов), адсорбция которых на твердых поверхностях сопровож-
дается их самопроизвольной полимеризацией с образованием полимер-
ного покрытия полипараксилилена
Пленка формируется одновременно по всей поверхности суб-
страта независимо от его профиля и образует на ней однородный по
толщине слой. Полимерное покрытие имеет одинаково хорошее ка-
Рис. 1.
Функциональная схема установки МДО-100:
1
— электролитная ванна;
2
— рубашка водяного охлаждения;
3
— барьер;
4
—
электролит;
5
,
6
,
9
— запорная арматура;
7
— фильтр;
8
— водяной насос;
10
—
бак с теплообменником;
11
— деталь;
12
— воздушный компрессор;
13
— вытяж-
ной зонт;
14
— вытяжной вентилятор
Рис. 2.
Схема установки для наполнения
МДО-слоев поли-
n
-ксилиленом
