Ю.М. Гришин, Н.П. Козлов, А.С. Скрябин
14
ЛИТЕРАТУРА
[1] Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С. Экспериментальные исследова-
ния плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца.
ТВТ
, 2012, № 50, с. 491–496.
[2] Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С. Плазмохимический метод прямо-
го получения кремния из кварца.
Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер.
Машиностроение. Спец. вып. Ионно-плазменные технологии
, 2011, с. 88–97.
[3] Grishin Yu.M., Kozlov N.P., Skriabin A.S. and Sytschev A.E. Plasmochemical
Production of Silicon from Quartz.
Int. Conf. on Nonisothermal Phenomena &
Processes: From Thermal Explosion Theory to Structural Macrokinetics Devot-
ed to the 80th Birthday of Academician A.G. Merzhanov: Book of abstracts
.
Chernogolovka, 2011, p. 57.
[4] Колмогоров Ю.Г., Антонов А.Н., Афанасьев В.Д., Грибов Б.Г., Зиновь-
ев К.В.
Способ получения кремния высокой чистоты
. Пат. № 2367600 Рос-
сийская Федерация, 2012, бюл. № 22, с. 55–60.
[5] Прохоров А.М., Петров Г.Н., Калужский Н.А., Баймаков А.Ю., Жир-
ков М.С., Фадеев Л.Л.
Способ получения мульти- и монокристаллического
кремния
. Пат. № 2173738 Российская Федерация, 2003, бюл. № 5, с. 38–43.
[6] Трусов Б.Г.
Моделирование химических и фазовых равновесий при высоких
температурах (АСТРА-4/рс)
. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана,
1994, 50 с.
[7] Pateyron B., Elchinger M.-F., Delluc G. and Fauchais P.
Thermodynamic and
Transport Properties of Ar-H
2
and Ar-He Plasma Gases Used for Spraying at
Atmospheric Pressure. I: Properties of the Mixtures, Plasma Chemistry and
Plasma Processing
, 1992, vol. 4, pp. 421–448.
[8] Cohen N., Westberg K.R. Chemical Kinetic Data Sheets for High-Temperature
Chemical Reactions.
J. Phys. Chem. Ref. Data
, 1983, no. 12, pp. 531–590.
[9] Лосев С.А., Уманский С.Я., Якубов И.Т.
Физико-химические процессы в
газовой динамике: Справочник
. Черный Г.Г., ред., Лосев С.А., ред. Москва,
Изд-во МГУ, 1995, т. 1, 351 с.
[10] Френкель Я.И.
Кинетическая теория жидкостей
. Ленинград, Наука,
1975, 592 с.
[11] Фукс Н.А.
Испарение и рост капель
. Москва, Изд-во АН СССР, 1958, 94 с.
Статья поступила в редакцию 21.06.2013
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С. Эффективность получения кремния
из кварца в газоплазменном аргоновом потоке с добавкой водорода.
Инженерный
журнал: наука и инновации
, 2013, вып. 5.
URL:
Гришин Юрий Михайлович
— д-р техн. наук, профессор кафедры «Теплофизи-
ка» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область научных интересов — теплофизика, физика и
техника низкотемпературной плазмы, плазменные технологии. е-mail:
Козлов Николай Павлович
—
д-р техн. наук, заведующий отделом ЭМ 4.3 НИИ
ЭМ МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область научных интересов — теплофизика, физика
и техника низкотемпературной плазмы, плазменные технологии. е-mail:
Скрябин Андрей Станиславович
—
канд. техн. наук, доцент кафедры «Тепло-
физика» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область научных интересов — теплофизика,
физика и техника низкотемпературной плазмы, плазменные технологии. е-mail:
