Ю.М. Гришин, Н.П. Козлов, А.С. Скрябин
10
Рис. 2.
Влияние времени пролета газовой смесью зоны газофазных превра-
щений на химический состав кремнийсодержащих (
а
) и кислородсодержа-
щих (
б
) продуктов реакции на выходе из ГХР при
n
Si
(0) = 10
23
м
–3
и
n
H
(0) =
= 4,5·10
23
м
–3
:
1
—
(Si)
Si
;
x
2
—
(SiH)
Si
;
x
3
—
(SiO)
Si
;
x
4
—
2
(O )
O
;
x
5
—
(SiO)
O
;
x
6
—
2
(H O)
O
x
Рисунок 3
отражает влияние средней температуры потока и осе-
вой координаты ГХР на безразмерную концентрацию
( )
i
y z
=
Si
( )
(0)
i
n z n
=
основных компонентов смеси при
n
Si
(0) = 10
23
м
–3
,
n
H
(0) = 4,5·10
23
м
–3
и
t
x
= 10
–2
c. Видно, что при выполнении условия
(4) концентрация кислорода на выходе из ГХР практически равна ну-
лю. Основным продуктом переработки является вода. Уровень мак-
симальной концентрации паров кремния ограничен процессом обра-
зования SiH и достигает 0,9.
Рис. 3.
Зависимость состава реагирующей смеси от средней температуры
потока по сечению и осевой координаты ГХР при оптимальных режимных
параметрах:
1
— Si;
2
— O;
3
— O
2
;
4
— H;
5
— Н
2
О
