Определение спектрально-энергетических порогов лазерной абляции
7
Рис. 2.
Определение порога абляции при воздействии излучения с длиной
волны 266 нм на (C
2
F
4
)
n
-пленку по диаметру (
1
,
2
) и максимальной глубине
кратера (
3
,
4
) в атмосфере (
1
,
3
) и вакууме (
2
,
4
)
Рис. 3.
Интерферограммы облучаемой поверхности Cu-мишени (
а
,
г
), фазовые
(
б
,
д
) и амплитудные (
в
,
е
) изменения отраженного волнового фронта зонди-
рующего излучения (
а
–
в
зарегистрированы через Δτ ~ 1 с после лазерного воз-
действия (
I
0
~ 5·10
13
Вт/см
2
, λ
1
~ 800 нм);
г
–
е
— через Δτ ~ 1,2·10
–8
с):
1
— повреждение напыленного слоя мишени до подложки;
2
— зона рекристалли-
зации расплава;
3
— светоэрозионный кратер;
4
— ударная волна,
5
— расплав
