Определение спектрально-энергетических порогов лазерной абляции
3
В таблице приведены инструментальная сложность и разрешаю-
щая способность некоторых методов исследования оптических, теп-
лофизических и газодинамических характеристик светоэрозионных
процессов.
Таблица
Инструментальная сложность (1 — простой, 5 — наиболее сложный)
и разрешающая способность методов экспериментального исследова-
ния оптических, теплофизических и газодинамических характеристик
светоэрозионных процессов
Регистрируемый
параметр
Метод
Класс
сложности
Разрешающая
способность
Лите-
ратура
Глубина свето-
эрозионного
кратера
h
(
x
)
Контактная про-
филометрия
1
Δ
h
~ 10
–9
м
Δ
x
~ 10
–5
м
[14]
Лучевое зонди-
рование мишени
1, 2
Δ
h
/
h
~ 10
–6
Δ
x
~ 10
–5
м
[19]
Атомно-силовая
и электронная
микроскопия
2
Δ
h
~ 10
–10
м
Δ
x
~ 10
–9
м
[17,
18]
Динамика глу-
бины светоэро-
зионного крате-
ра
h
(
x
,
t
)
Оптическая
профилометрия
(интерференци-
онная микроско-
пия)
3, 4
Δ
h
~ 10
–9
м
Δ
x
~ 10
–6
м
Δ
t
~ 10
–13
c
[15,
16]
Массовый рас-
ход абляции
m
;
объем светоэро-
зионного крате-
ра
V
Весы аналитиче-
ские
1
Δ
m
~ 10
–8
кг
[20]
Весы кристалли-
ческие
2
Δ
m
/
m
~ 10
–6
[14]
Атомно-силовая
и электронная
микроскопия
2
Δ
h
~ 10
-10
м
Δ
x
~ 10
-9
м
[17,
18]
Динамика объема
светоэрозионного
кратера
V
(
t
) и
массового расхо-
да абляции
m
(
t
)
Оптическая
профилометрия
(интерференци-
онная микроско-
пия)
3, 4
Δ
h
~ 10
–9
м
Δ
x
~ 10
к6
м
Δ
t
~ 10
–13
c
[15,
16]
Большинство перечисленных методов не позволяет проводить
измерения insitu с временн
û
м разрешением меньше характерного
времени процессов. Осуществление прямых измерений, хотя и более
физически обосновано, зачастую связано со значительными инстру-
ментальными и методическими трудностями. Кроме того, для анали-
за нередко берутся данные, полученные в результате нескольких по-
следовательных воздействий, что не дает сведений о флуктуации
глубины кратера (массового расхода) при аналогичных параметрах
