Оптимизации траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя
Опубликовано: 19.11.2013
Авторы: Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Рязанов В.А., Чжо Вин Наинг
Опубликовано в выпуске: #10(22)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-10-1042
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Плазменные технологии