Некоторые особенности планаризации поверхности подложек изделий микро- и наносистемной техники
Опубликовано: 15.10.2013
Авторы: Холевин В.В.
Опубликовано в выпуске: #6(18)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-6-803
Раздел: Наноинженерия