Оптическая система интерферометра для контроля формы выпуклых сферических поверхностей большого диаметра на базе вогнутого сферического зеркала и зеркала Манжена
Авторы: Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т., Рожков О.В.
Опубликовано в выпуске: #9(21)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-9-917
Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника
Предложена новая оптическая система лазерного интерферометра для бесконтактного контроля формы крупногабаритных выпуклых сферических поверхностей без снятия с планшайбы станка. Рабочий волновой фронт формируется объективом, состоящим из стационарного сферического зеркала диаметром 1 400 мм и шести сменных зеркал Манжена, диаметры которых лежат в диапазоне значений 20... 150 мм. Волновая аберрация объектива при автоколлимационном ходе лучей не превышает 0,04 длины волны He-Ne-лазера. Эталонный волновой фронт образуется при отражении светового пучка от вогнутой сферической поверхности зеркала Манжена.
Литература
[1] Пуряев Д.Т., Лазарева Н.Л., Дуденкова Е.А. Оптическая система интерферометра для измерения и контроля формы выпуклых сферических поверхностей большого диаметра. Инженерный журнал: наука и инновации, 2013, вып. 1. URL: http://engjoumal.ru/catalog/pribor/optica/519.html (дата обращения 28.10.2013)
[2] Окатов М.А., Антонов Э.А., Байгожин А. Окатов М.А., ред. Справочник технолога-оптика. Санкт-Петербург, Политехника, 2004, 679 с.