Оптическая система двухдиапазонного интерферометра для контроля формы выпуклых сферических поверхностей диаметром до 600 мм
Авторы: Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т., Рожков О.В.
Опубликовано в выпуске: #7(19)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-7-835
Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника
Предложена принципиально новая оптическая система двухдиапазонного интерферометра для бесконтактного контроля формы выпуклых сферических поверхностей диаметром до 600 мм. В качестве объектива, формирующего сферический рабочий волновой фронт, используется крупногабаритная линза, одна из поверхностей которой асферическая. Для расширения диапазона контролируемых поверхностей эта линза поворачивается вокруг вертикальной оси; при этом вносимая линзой волновая аберрация не превышает 0,005 длины волны He-Ne-лазера. Эталонный сферический волновой фронт формируется лучами, отраженными от выпуклой поверхности менисковой линзы, которая совместно куб-призмой образует оптическую систему, полностью исправленную на сферическую аберрацию.
Литература
[1] Окатов М.А., Антонов Э.А., Байгожин А. и др. Справочник технолога-оптика. 2-е изд., перераб. и доп. Санкт-Петербург, Политехника, 2004, 679 с.
[2] Пуряев Д.Т., Лазарева Н.Л., Иконина А.В. Оптические системы двухлучевых интерферометров. В 2 ч. Ч. 2. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2005, 27 с.