Исследование параметров микрооптических и дифракционных элементов с помощью технологии корреляционной микроскопии Shuttle and Find
Опубликовано: 17.12.2012
Авторы: Гончаров А.С., Ковалев М.С., Соломашенко А.Б., Кузнецов А.С.
Опубликовано в выпуске: #9(9)/2012
DOI: 10.18698/2308-6033-2012-9-361
Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника
Исследовано совместное использование оптической и электронной микроскопии для комплексного изучения параметров микрооптических и дифракционных элементов. В качестве исследуемого образца использован микролинзовый растр. Разработана методика для контроля параметров образцов микрооптических и дифракционных элементов.
Литература
[1] Scherrer C., Lysenkov D., Thomas H. Microstructural Investigation of Austempered Ductile Iron (ADI) with «Shuttle & Find» // Carl Zeiss AG. Germany. Corporate Research & Technology. – 2009
[2] Markers for correlated light and electron microscopy / G.E. Sosinsky, B.N.G. Giepmans, T.J. Deerinck, G.M. Gaietta, M.H. Ellisman // Methods in Cell Biology 79: 575-591. – 2007