Исследование интерференционных методов контроля формы и качества высокоточных поверхностей крупногабаритных оптических деталей
Авторы: Барышников Н.В., Гладышева Я.В., Денисов Д.Г., Животовский И.В., Патрикеев В.Е., Судариков И.Н.
Опубликовано в выпуске: #9(9)/2012
DOI: 10.18698/2308-6033-2012-9-345
Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника
Рассмотрены методы контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей. Приведена современная методика измерения параметров неоднородностей профиля оптических поверхностей различных периодов пространственных частот на основании расчета функции спектральной плотности мощности PSD(vx, vy). Рассмотрены требования, предъявляемые к качеству оптических поверхностей высокоточных деталей в соответствии с данной методикой. Проведен анализ существующего интерферометрического оборудования, технические характеристики которого позволяют проводить измерения в выделенных спектральных диапазонах с необходимой погрешностью. Рассмотрена возможность использования интерферометров NanoCam Dynamic Profiler (4D Technology) и Intellium H2000 (ESDI) для контроля крупногабаритных оптических деталей.
Литература
[1] Abdulkadyrov M.A., Belousov S.P., Ignatov A.N. // Manufacturing of primary mirrors from Sitall CO-115M for European projects TTL, NOA and VST, Proc. of SPIE. – 2009. – Vol. 7390
[2] Неравноплечий ИК-интерферометр Тваймана — Грина для контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей на стадии шлифования / М.А. Абдулкадыров и др. // Оптический журнал. – 2010. – № 1. – 12 c.
[3] http://www.eso.org/public/teles-instr/e-elt.html
[4] https://lasers.llnl.gov/about/nif/about.php
[5] Youngworth R.N., Gallagher B.B., Stamper B.L. An overview of power spectral density (PSD) calculations // Proc. SPIE. – 2005. – 5869, 58690U
[6] Sidick E. Power Spectral Density Specification and Analysis of Large Optical Surfaces // Proc. of SPIE. – 2009. – Vol. 7390. – Р. 73900L-1
[7] Lawson J.K., Wolfe C.R., Manes K.R. et al. Specification of optical components using the power spectral density function // Proc. SPIE. – 1995. – P. 38–50, 2536
[8] Campbell J.H. NIF optical materials and fabrication technologies: An overview // Proceedings of SPIE. – 2004. – Vol. 5341
[9] ГОСТ 2789–73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики
[10] ISO 4287/1. Surface texture: profile method – terms, definitions and surface texture parameters
[11] Deck L.L., Soobitsky J.A. Phase-shifting via wavelength tuning in very large aperture interferometers // SPIE. – 1999. – Vol. 3782
[12] Kimbrough B., Millerd J., Wyant J., Hayes J. Low Coherence Vibration Insensitive Fizeau Interferometer // Proc. of SPIE. – 2006. – Vol. 6292
[13] Kimbrough B., Brock N., Millerd J. Dynamic surface roughness profiler // Proc. of SPIE. – 2011. – Vol. 8126. 81260H-1
[14] Intellium™ H2000 Overview // http://esdimetrology.com/p/fizeau/intellium_h2000.html
[15] Brock J.E., Hayes N.J., North-Morris J.B. et al. Pixelated phase-mask dynamic interferometer // Proc. SPIE. – 2004. – Vol. 5531. – P. 304–315
[16] Brock N.J., Kimbrough B.T., Millerd J.E. A pixelated polarizerbased camera for instantaneous interferometric measurements // Proc. of SPIE. – 2011. – Vol. 8160
[17] Kothiyal P., Delisle R. Shearing interferometer for phase shifting interferometry with polarization phase shifter // Applied Optics/ – 1985. – Vol. 24. – No. 24. – P. 4439–4442
[18] Farrell C.T., Player M.A. Phase step measurement and variable step algorithms in phase-shifting interferometry // Meas. Sci. Technol. – 1992. – No. 3. – P. 953–958