Технология бескалибровочной лазерной фототермической диагностики тонких слоев и покрытий
Опубликовано: 06.11.2012
Авторы: Мелюков Д.В., Григорьянц А.Г.
Опубликовано в выпуске: #6(6)/2012
DOI: 10.18698/2308-6033-2012-6-232
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Лазерные технологии
Рассмотрены вопросы измерения толщины слоя или покрытия с неизвестными характеристиками. Разработана теоретическая методика, позволяющая определять абсолютную толщину слоя в пределах 50...1000 мкм. Проведены эксперименты, подтверждающие реализуемость методики с погрешностью измерений 10...15%.
Литература
[1] ГОСТ 18353—79. Контроль неразрушающий. Классификация видов и методов. — М.: Изд-во стандартов, 2004. — 12 с.
[2] Вавилов В.П. Инфракрасная термография и тепловой контроль. — М.: Спектр, 2009. — 545 с.
[3] Almond D.P., Patel P.M. Photothermal Science and Techniques. — London: Chapman&Hall, 1996. — 241 p.
[4] Melyukov D.V. Etude et Developpement D'une Methode de Caracterisation in-situ et a Distance de Depots en Couches Minces par Pyrometrie Active Laser. These de Doctorat. 05.10.2011 / ENISE. Saint-Etienne (France). 2011. — 132 p.
[5] Мелюков Д.В. Разработка и исследование процесса бесконтактно-управляемой лазерной абляции слоистых материалов. Дис. … канд. техн. наук. — М., 2012. — 140 с.
[6] Phase Lock-In Laser Active Pyrometry for Surface Layer Characterisation: Rapport CEA / A. Semerok et al. NT DPC/SCP 09-301 in dice A. Saclay, 2009. — 94 p.
[7] Beck J.V., Arnold K.J. Parameters Estimation in Engineering and Science. — NY: Wiley, 1977. — 501 p.