Эффективность получения кремния из кварца в газоплазменном аргоновом потоке с добавкой водорода
Опубликовано: 09.10.2013
Авторы: Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С.
Опубликовано в выпуске: #5(17)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-5-716
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Энергетическое машиностроение
Представлены результаты теоретического исследования и критерии эффективной реализации плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца. Показана возможность производства кремния указанным методом с выходом до 90%.
Литература
[1] Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С. Экспериментальные исследования плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца. ТВТ, 2012, № 50, с. 491-496
[2] Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С. Плазмохимический метод прямого получения кремния из кварца. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. Спец. вып. Ионно-плазменные технологии, 2011, с. 88-97
[3] Grishin Yu.M., Kozlov N.P., Skriabin A.S. and Sytschev A.E. Plasmochemical Production of Silicon from Quartz. Int. Conf. on Nonisothermal Phenomena & Processes: From Thermal Explosion Theory to Structural Macrokinetics Devoted to the 80th Birthday of Academician A.G. Merzhanov: Book of abstracts. Chernogolovka, 2011, p. 57
[4] Колмогоров Ю.Г., Антонов А.Н., Афанасьев В.Д., Грибов Б.Г., Зиновьев К.В. Способ получения кремния высокой чистоты. Пат. № 2367600 Российская Федерация, 2012, бюл. № 22, с. 55-60
[5] Прохоров А.М., Петров Г.Н., Калужский Н.А., Баймаков А.Ю., Жирков М.С., Фадеев Л.Л. Способ получения мульти- и монокристаллического кремния. Пат. № 2173738 Российская Федерация, 2003, бюл. № 5, с. 38-43
[6] Трусов Б.Г. Моделирование химических и фазовых равновесий при высоких температурах (АСТРА-4/рс). Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1994, 50 с.
[7] Pateyron B., Elchinger M.-F., Delluc G. and Fauchais P. Thermodynamic and Transport Properties of Ar-H2 and Ar-He Plasma Gases Used for Spraying at Atmospheric Pressure. I: Properties of the Mixtures, Plasma Chemistry and Plasma Processing, 1992, vol. 4, pp. 421-448
[8] Cohen N., Westberg K.R. Chemical Kinetic Data Sheets for High-Temperature Chemical Reactions. J. Phys. Chem. Ref. Data, 1983, no. 12, pp. 531-590
[9] Лосев С.А., Уманский С.Я., Якубов И.Т. Физико-химические процессы в газовой динамике: Справочник. Черный Г.Г., ред., Лосев С.А., ред. Москва, Изд-во МГУ, 1995, т. 1, 351 с.
[10] Френкель Я.И. Кинетическая теория жидкостей. Ленинград, Наука, 1975, 592 с.
[11] Фукс Н.А. Испарение и рост капель. Москва, Изд-во АН СССР, 1958, 94 с.