перекрытия отверстий совмещенных подложек. Для изготовления под-
ложек КГЭ использовалась перфорированная алюминиевая лента АМц
1,5
×
0,6 м толщиной
1
,
5
∙
10
−
3
м и перфорированная лента толщиной
7
∙
10
−
4
м.
В настоящей статье приведены результаты экспериментального ис-
следования по определению удельной проводимости семи вариантов
КГЭ в молекулярном режиме течения газов.
Удельная проводимость определялась по соотношению [6]
U
уд
=
Q/
(
p
2
−
p
1
)
S
0
,
где
U
уд
— удельная проводимость композиционного газопроницаемого
элемента;
Q
— газовый поток воздуха в камеру с образцом;
p
1
— да-
вление в откачиваемой части камеры;
p
2
— давление в напорной части
камеры;
S
0
— площадь образца.
Установлено, что композиция № 3 КГЭ, принятая за базовую, име-
ет проводимость 1,63 м
3
/(м
2
∙
с) (подложки толщиной 1,5
∙
10
−
3
м, диа-
метры отверстий
d
отв
= 1
,
4
∙
10
−
3
и
1
,
2
∙
10
−
3
м и шаг отверстий
L
ш.о
= 3
,
25
∙
10
−
3
и
3
,
926
∙
10
−
3
м). Это в 1,36 раза больше, чем у спечен-
ного медного экрана (фракция порошка № 3,
U
уд
= 1
,
2
м
3
/(м
2
∙
с)) [7].
Другие варианты композиции (№ 4 и № 5) имеют проводимость мень-
ше на 20% (не более) проводимости композиции КГЭ № 3 и могут
рассматриваться как альтернативные.
Результаты экспериментального определения удельной проводимо-
сти КГЭ в зависимости от характеристик подложек представлены в
табл. 1.
Была исследована зависимость удельной проводимости КГЭ от чи-
сла слоев стеклобумаги БмД-К в газопроницаемой прокладке. График
этой зависимости представлен на рис. 2
Рис. 2. График зависимости
удельной проводимости КГЭ
от числа слоев стеклобумаги
БмД-К в газопроницаемой про-
кладке:
1
— верхняя подложка толщиной
δ
= 1
,
5
∙
10
−
3
м,
d
отв
= 1
,
4
×
×
10
−
3
м,
L
ш.о
= 3
,
25
∙
10
−
3
м;
нижняя подложка — толщиной
δ
= 1
,
5
∙
10
−
3
м,
d
отв
= 1
,
2
×
×
10
−
3
м,
L
ш.о
= 3
,
926
∙
10
−
3
м;
2
— верхняя подложка — см
п. 1; нижняя подложка толщиной
δ
= 0
,
7
∙
10
−
3
м,
d
отв
= 2
,
5
×
×
10
−
3
м,
L
ш.о
= 9
,
0
∙
10
−
3
м
111