ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2012
3
УДК 621.52:51-7
К. Е. Д е м и х о в , Н. К. Н и к у л и н , А. В. Д р о н о в
РАСЧЕТ ОТКАЧНЫХ ПАРАМЕТРОВ
МОЛЕКУЛЯРНО-ВЯЗКОСТНОГО ВАКУУМНОГО
НАСОСА
Рассмотрено влияние основных параметров проточной части моле-
кулярно-вязкостного вакуумного насоса на его откачные характе-
ристики при работе в области молекулярного режима течения газа.
На основании расчета по статистической математической модели
представлены рекомендации для обеспечения необходимых геомет-
рических параметров проточной части.
Е-mail:
nkn@bmstu.ru
,
dronov_a@mail.ru
Ключевые слова:
молекулярно-вязкостный вакуумный насос, ме-
тод статистических испытаний, геометрические параметры,
вероятность, максимальное быстродействие, отношение давле-
ний, рекомендации, канал.
Основными параметрами, характеризующими работу молекуляр-
ных вакуумных насосов (МВН), являются максимальная быстрота
действия
S
max
и максимальное отношение давлений
τ
max
:
max
max
max
12 21
36,4
;
,
S
Fk T M
k k
τ
=
=
где
F
–
площадь входа в канал, м
2
;
k
max
–
максимальная вероятность
перехода молекулы газа через канал со стороны всасывания на сто-
рону нагнетания,
k
max
= k
12
–
k
21
;
k
12
,
k
21
–
вероятности перехода мо-
лекулы газа через канал соответственно со стороны всасывания на
сторону нагнетания и со стороны нагнетания на сторону всасывания;
T
–
температура газа, K;
M
–
молекулярная масса газа.
Конструктивные схемы МВН представлены на рис. 1.
Приведенные соотношения описывают и работу молекулярно-
вязкостного вакуумного насоса (МВВН). Основное отличие МВВН
заключается в конструкции его проточной части, выполненной в виде
двух спиральных каналов: одна спираль размещена на роторе, другая –
на статоре. Конструктивные схемы проточных частей МВВН пред-
ставлены на рис. 2.
Вероятности
k
12
и
k
21
для молекулярного режима течения газа вы-
числяются на основании математических моделей, приведенных в
работах [1, 2].