Подготовка исходного сырья для роста слитков мультикристаллического кремния
5
дов резки крупногабаритных слитков мультикристаллического кремния.
При использовании таких загрузок в совмещенном процессе очистки
получили кристаллы кремния с
=1,4…2,5 Ом
см.
Были проведены три процесса роста слитков мультикристалличе-
ского кремния, для которых загрузка полностью состояла из кристал-
лов, прошедших совмещенную очистку по описанной методике. Из-
меренные электрофизические параметры (удельное электрическое
сопротивление и время жизни неосновных носителей заряда) полу-
ченных слитков полностью соответствовали техническим требовани-
ям по электрофизическим параметрам для выращивания слитков
мультикремния.
Таким образом, представленные в статье расчеты и описанная
компоновка загрузки показывают применимость данного комбиниро-
ванного метода очистки для получения кремниевого сырья, пригод-
ного для начальной стадии изготовления солнечных батарей — роста
слитков мультикристаллического кремния. Данная методика позво-
лила существенно улучшить коэффициент использования материалов
как в результате применения кремния, сильно легированного мышья-
ком (ранее считался невозможным к использованию), так и вслед-
ствие переработки возвратных отходов производства.
ЛИТЕРАТУРА
[1] Braga A.F.B., Moreira S.P., Zampieri P.R., Bacchin J.M.G., Mei P.R. New pro-
cesses for the production of solar-grade polycrystalline silicon: a Review.
Solar
Energy, Materials and Solar Cells
, 2008, vol. 92, pp. 418–424.
[2] Tsai T.H. Modified sedimentation system for improving separation of silicon
and silicon carbide in recycling of sawing waste.
Separation and Purification,
Technology
, 2011, vol. 78, pp. 16–20.
[3] Woditsch P., Koch W. Solar grade silicon feedstock supply for PV industry.
Solar Energy Materials and Solar Cells
, 2002, vol. 72, pp. 11–26.
[4] Esfahani S. Solvent Refining of Metallurgical Grade Silicon Using Iron.
Мaster
of Applied Science, Materials Science and Engineering University of Toronto
,
2010, pp. 45–51.
[5] Нашельский А.Я.
Производство полупроводниковых материалов
. Москва,
Металлургия, 2003.
[6] Потолоков Н.А., Решетников Н.М., Кутовой И.С., Серов А.В., Журав-
лев А.В. Промышленное производство мультикристаллического кремния
в России: состояние, проблемы, перспективы.
Тез. докл. VII Междунар.
науч. конф. по актуальным проблемам физики, материаловедения, техно-
логии и диагностики кремния
(6–9.07.2010). Нижний Новгород, Изд-во
НГГУ, 2010, с. 70–72.
Статья поступила в редакцию 03.04.2014
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Кутовой И.С., Радченко И.Н. Подготовка исходного сырья для роста
слитков мультикристаллического кремния. Инженерный журнал: наука и ин-
новации, 2014, вып. 7. URL:
1263.html
