Схемы построения прецизионных спектрополяриметров для физико-химического анализа
7
интенсивности источника и изотропного поглощения растворов в
кювете на точность измерения положения плоскости поляризации
анализируемого излучения. Применение волоконных световодов зна-
чительно снижает также влияние поляризационной чувствительности
фотоприемников
24
и
25
на точность измерений.
При проведении эллипсометрических измерений используется
световой поток, прошедший через торцовый выход поляризатора и
ортогонально поляризованный по отношению к потоку, поступаю-
щему из поляризатора в поляриметрический канал. Световой поток с
торцового выхода поляризатора отражателем
8
, плоскость отражения
которого совпадает с плоскостью поляризации падающего излучения,
направляется в оптический вращатель
9
плоскости поляризации, ко-
торый поворачивает плоскость поляризации излучения на дополни-
тельный угол, соответствующий оптимальным условиям проведения
эллипсометрических измерений. При этом вращатель либо ахромати-
зован путем изготовления его сердечника из пластин с различной
дисперсной оптической активностью или двулучепреломления, либо
влияние дисперсии угла вращения в данном вращателе учитывается
программно в ЭВБ. Излучение, вышедшее из вращателя, отражается
исследуемой поверхностью образца
38
и воспринимается вращаю-
щимся анализатором, разделяющим и регистрирующим световой по-
ток, как при работе в поляриметрическом тракте. Коммутация пото-
ков поляриметрического и эллипсометрического каналов проводится
непрозрачными боковыми стенками кюветы, а также нерабочей по-
верхностью образца.
Для ускорения процесса измерений и повышения точности ори-
ентации образцов в измерительном тракте, значительно влияющей на
точность поляризационных измерений, в приборе предусмотрена
следящая оптико-электронная система, использующая автоколлима-
ционное отражение краевой части рабочих потоков от зеркальной
диафрагмы
12
при измерениях в эллипсометрическом тракте, и от
зеркальной диафрагмы
43
при работе поляриметрического тракта.
Если кювета и образец имеют неправильную пространственную
ориентацию, то автоколлимационный блик коллимируется объекти-
вом
6
на чувствительные площадки
39
квадрантного фотоприемника,
включенные по мостовой балансной схеме через четырехканальный
дифференциальный усилитель
40
на управляющие входы электроме-
ханического следящего привода
41
, который по возникающему сиг-
налу разбаланса, перемещая толкатель
42
, упирающийся в кювету
или образец, корректирует их угловую ориентацию до исчезновения
сигнала разбаланса.
Угловое положение вращающегося анализатора непрерывно
определяется с помощью кольцевого лазера
16
, жестко закрепленно-
